增黏剂在锑化铟衬底上的抗蚀性作用木工胶与了

可以将锑化铟资料外表由亲水性变为疏水性,增黏剂在锑化铟光刻工艺中得到胜利应用.从而和具有疏水性的光刻胶具有更好的黏附性;使用木工胶增黏剂的样品在湿法腐蚀工艺中具有更好的抗腐蚀性。实践证明,增黏剂的使用可以优化锑化铟光刻工艺,并且提高锑化铟红外探测器晶片的成品率。

昨天 可以将锑化铟资料外表由亲水性变为疏水性,增黏剂在锑化铟光刻工艺中得到胜利应用.从而和具有疏水性的光刻胶具有更好的黏附性;使用木工胶增黏剂的样品在湿法腐蚀工艺中具有更好的抗腐蚀性。实践证明,增黏剂的使用可以优化锑化铟光刻工艺,并且提高锑化铟红外探测器晶片的成品率。 无论是硅还是锑化铟衬底,中可以清楚地看出.使用增黏剂的电极孔刚好腐蚀开的累计腐蚀时间比较短,腐蚀均匀性好,电极孔横向钻蚀尺寸比没有使用增黏剂的样品少2~3μm说明增黏剂的使用能够将衬底与光刻胶更好的黏附在一起,后续的湿法腐蚀工艺中降低了腐蚀液的横向钻蚀,减少了腐蚀时间。 5.2硅片/锑化铟比较 增黏剂在锑化铟衬底上的抗蚀性作用与硅片上的很接近,通木工胶过表2和表3比较可以看出.证明增黏剂在锑化铟衬底上的胜利应用。锑化铟的腐蚀均匀性比硅片稍差,可能是锑化铟外表平整度较差的原因。 将增黏剂在锑化铟衬底上应用前后各一年中电极孔腐蚀返工、失效的晶片进行统计后得出:增黏剂的应用,5.3实际应用效果电极孔腐蚀工艺的木工胶好坏直接影响着锑化铟晶片的废品率.降低了10%电极孔光刻返工率,提高了8%锑化铟晶片成品率,并且对锑化铟器件的性能没有影响。

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